Автоматизированный сканирующий зондовый микроскоп Ntegra Spectra С, производитель ЗАО «НТ-МДТ», Россия
Сканирование рельефа, линейных размеров и других характеристик исследуемых объектов
- Размер активной картинки (ВхШ): 1034x779;
- Размер чипа (ВхШ): 5,80x4,92 мм;
- Размер ячейки (ВхШ): 4,65x4,65 мкм;
- Частота съемки изображения: 29,5 Мгц (нормальный режим) / 14,75 (1/2) / 7,375 (1/4).